Literaturnachweis - Detailanzeige
Autor/in | Teichert, Christian |
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Titel | Selbstorganisation in der Nanowelt. Nanostrukturierung. |
Quelle | In: Physik in unserer Zeit, 34 (2003) 6, S. 279-286 |
Beigaben | Internetadressen |
Sprache | deutsch |
Dokumenttyp | gedruckt; Zeitschriftenaufsatz |
ISSN | 0031-9252 |
Schlagwörter | Sachinformation; Naturwissenschaften; Halbleiterphysik; Halbleitertechnik; Physik; Selbstorganisation; Strukturbildung; System |
Abstract | Die Mikroelektronik steuert auf kleinste Nanostrukturen zu, die heutige lithographische Verfahren nicht mehr erzeugen können. Einen Ausweg bieten Selbstorganisationsprozesse. Mit ihnen sind im Prinzip großflächige Anordnungen von Nanostrukturen auf Silizium-Wafern erreichbar. Ein Weg ist das heteroepitaktische Aufwachsen von Filmen, deren Kristallgitter vom Silizium abweicht. Ein anderer Weg nutzt aus, dass Ionenstrahlen die Oberflächen ausgeprägt strukturieren können. Beide Wege erlauben es, nur mit einer Materialklasse eine Fülle von Nanostrukturen zu erzeugen. Diese eignen sich für viele Anwendungen. Sie reichen von der Optoelektronik über magnetische Datenspeicher bis zu flächig angeordneten organischen Nanostrukturen. (Orig.). |
Erfasst von | Landesinstitut für Schule, Soest |
Update | 2005_(CD) |