Nanolithographie mit Zukunft.

DIPF | Leibniz-Institut für Bildungsforschung und Bildungsinformation

Inhalt

Literaturnachweis - Detailanzeige

Trefferliste

Autor/inn/en	Heinzel, Thomas; Held, Ryan; Lüscher, Silvia; Ensslin, Klaus
Titel	Nanolithographie mit Zukunft.
Quelle	In: Physik in unserer Zeit, 30 (1999) 5, S. 190-194Verfügbarkeit
Beigaben	Literaturangaben
Sprache	deutsch
Dokumenttyp	gedruckt; Zeitschriftenaufsatz
ISSN	0031-9252
Schlagwörter	Bauelement; Elektronik; Elektronisches Bauelement; Halbleiter; Naturwissenschaften; Physik; Oxidation; Herstellung; Verfahren; Sachinformation; Oxidation; Bauelement; Naturwissenschaften; Elektronik; Elektronisches Bauelement; Halbleiter; Physik; Herstellung; Verfahren
Abstract	Eelktronische Bauelemente können heute mit Rasterkraftmikroskopen hergestellt werden. Die Methode ist nicht nur sehr einfach, sie zeichnet sich auch durch - im Prinzip - atomare Auflösung aus und könnte daher die herkömmlichen Verfahren zur Herstellung ultrakleiner Bauelemente einmal ablösen. Die Autoren stellen ein neues Verfahren zur direkten lokalen Oxidation von Halbleiter-Heterostrukturen vor.
Erfasst von	Landesinstitut für Schule, Soest
Update	2001_(CD)

Literaturbeschaffung und Bestandsnachweise in Bibliotheken prüfen

Standortgebundene Dienste:

Wählen Sie eine Institution, um dort die Verfügbarkeit zu prüfen:

bitte warten

Standortunabhängige Dienste

Trefferlisten Einstellungen

Dateien exportieren oder versenden

Markieren Sie in der Trefferlisteliste die Einträge, deren Nachweise Sie exportieren wollen. Im Bereich "Exportieren" wählen Sie in der Auswahlliste "System/Format wählen" eines der Exportformate bzw. -systeme. Wollen Sie die gewählten Nachweise direkt in Ihre Literaturverwaltung importieren, so wählen Sie das entsprechende System aus und drücken den Schalter "exportieren". Die weiteren Schritte sind abhängig von der installierten Software. Eine detaillierte Beschreibung finden Sie, zusammen mit den einzelnen Formatbeschreibungen auf unserer Hilfeseite.
Die Formate können Sie auf Ihrem Rechner als Textdatei abspeichern.
Alle Formate können zusätzlich auch als Datei an eine beliebige E-Mailadresse versendet werden. Gehen Sie vor wie beim normalen Export. Tragen Sie zusätzlich die E-Mailadresse ein und aktivieren Sie den Schalter "versenden". Der Versand der Datei erfolgt mit der passenden Dateiextension im Dateinamen. Achten Sie auf die korrekte Eingabe Ihrer Mailadresse, um den Verlust Ihrer Rechercheergebnisse zu vermeiden.
Das Fachportal Pädagogik unterstützt die Übernahme bibliografischer Daten in andere Systeme durch Einbettung so genannter COinS in den HTML-Quellcode. Sie erkennen die Möglichkeit der Übernahme durch eine Meldung Ihres Browsers.

Exportieren der Dateien:

System / Format wählen

Versenden der Dateien:

E-Mail-Adresse

Permalink als QR-Code

Permalink als QR-Code

Inhalt auf sozialen Plattformen teilen (nur vorhanden, wenn Javascript eingeschaltet ist)

Teile diese Seite:

Zum Seitenanfang