Literaturnachweis - Detailanzeige
Autor/in | Unger, Eugen |
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Titel | Die Erzeugung duenner Schichten. Das PECVD-Verfahren: Gasphasenabscheidung in einem Plasma. |
Quelle | In: Chemie in unserer Zeit, 25 (1991) 3, S. 148-158 |
Beigaben | Literaturangaben |
Sprache | deutsch |
Dokumenttyp | gedruckt; Zeitschriftenaufsatz |
ISSN | 0009-2851 |
Schlagwörter | Sachinformation; Verfahrenschemie; Beschichtung; Chemie; Gaskinetik; Naturwissenschaften; Elektronik; Herstellung; Technik; Verfahren |
Erfasst von | Landesinstitut für Schule, Soest |
Update | 1994_(CD) |