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Literaturnachweis - Detailanzeige

 
Autor/inSotier, Stefan
TitelDuenne Schichten - Neue Werkstoffe.
QuelleIn: Praxis der Naturwissenschaften. Chemie, 38 (1989) 6, S. 2-21    Verfügbarkeit 
Sprachedeutsch
Dokumenttypgedruckt; Zeitschriftenaufsatz
ISSN0177-9516; 0342-8745
SchlagwörterSachinformation; Fotografie; Chemie; Metallurgie; Elektronik; Physikalische Chemie; Quanten-Hall-Effekt; Vakuumkammer; Werkstoffkunde; Grafische Darstellung; Technik
AbstractDer Aufsatz gibt einen umfassenden Ueberblick ueber Bedeutung, Technologie und Anwendung duenner Materie- Schichten. Die einzelnen Beschichtungsverfahren, Vakuumaufdampfen, Kathodenzerstaeubung u.a., werden erlaeutert. Dabei wird auch auf besondere technologische Probleme sowie auf die theoretischen Grundlagen eingegangen. Bei den Anwendungen werden insbesondere die Werkstofftechnik, die Optik und die Elektronik beruecksichtigt. Drei Fotos von modernen Bedampfungsanlagen und zahlreiche Schema-Zeichnungen von technischen Anlagen und Verfahrensablaeufen ergaenzen den Text.
Erfasst vonHessisches Landesinstitut für Pädagogik, Wiesbaden
Update1994_(CD)
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