Fabrikation von Silicium-Chips. Mikroelektronik an der Schwelle des 21. Jahrhunderts.

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Autor/in	Trueb, Lucien
Titel	Fabrikation von Silicium-Chips. Mikroelektronik an der Schwelle des 21. Jahrhunderts.
Quelle	In: Naturwissenschaftliche Rundschau, 51 (1998) 11, S. 438-442Verfügbarkeit
Beigaben	Abbildungen
Sprache	deutsch
Dokumenttyp	gedruckt; Zeitschriftenaufsatz
ISSN	0028-1050
Schlagwörter	Sachinformation; Silicium; Chip (Elektr); Naturwissenschaften; Elektronisches Bauelement; Halbleiter; Physik; Herstellung; Verfahren
Abstract	Der Autor erläutert das Verfahren der Herstellung von elektronischen Bauelementen aus Silicium.
Erfasst von	Landesinstitut für Schule, Soest
Update	2000_(CD)

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